Verfahren zur geometrischen Strukturierung oder zum Zerschneiden dielektrischer Elastomeraktoren

DE102012016376A1 Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur geometrischen Strukturierung oder zum Zuschneiden dielektrischer Elastomeraktoren (DEA). Bei dem Verfahren werden Elastomeraktoren, die mindestens zwei elastisch verformbare schichtfoermigen Elektroden und eine mit den Elektroden flaechig verbundene elastisch verformbare und zwischen den Elektroden angeordnete dielektrische Schicht aufweisen, bearbeitet. Es wird mindestens eine der beiden Elektroden mittels eines Laserstrahls bestrahlt, der eine Wellenlaenge aufweist, die von dem Elektrodenwerkstoff absorbiert und die vom Werkstoff der dielektrischen Schicht nicht oder deutlich weniger absorbiert wird, so dass im Einwirkbereich des Laserstrahlbrennflecks zumindest ueberwiegend Werkstoff mindestens einer der Elektroden abgetragen wird, wobei der jeweilige Elastomeraktor und der Brennfleck des Laserstrahls zweidimensional relativ zueinander bewegt werden.

Geometrical structuring or cutting of dielectric elastomer actuator comprising at least two layer-shaped electrodes and an elastically deformable dielectric layer, comprises irradiating the electrodes with a laser beam having a wavelength which is absorbed by the electrode material, and not absorbed or less absorbed by the material of the dielectric layer such that at least the material of at least one of the electrodes is removed in exposure region of laser beam focal spot, and moving the respective elastomer actuator and the focal spot of the laser beam in two relative dimensions. Geometrical structuring or cutting of dielectric elastomer actuator comprising at least two elastically deformable layer-shaped electrodes and an elastically deformable dielectric layer which is connected with the electrodes in a planar manner, and is arranged between the electrodes, comprises irradiating the electrodes with a laser beam having a wavelength which is absorbed by the electrode material, and not absorbed or less absorbed by the material of the dielectric layer such that at least the material of at least one of the electrodes is removed in exposure region of laser beam focal spot, and moving the respective elastomer actuator and the focal spot of the laser beam in two relative dimensions.