Halterung fuer optische Elemente

Die Erfindung betrifft eine Halterung fuer optische Elemente und Verfahren zur Herstellung eines optischen Systems mit einer solchen Halterung. Sie kann besonders vorteilhaft in Verbindung mit optischen Elementen eingesetzt werden, die fuer elektromagnetische Strahlung mit sehr kleinen Wellenlaengen eingesetzt werden. Gemaess der gestellten Aufgabe soll eine dauerhafte Justiergenauigkeit mit entsprechend fixierten optischen Elementen erreicht werden koennen. Bei der erfindungsgemaessen Halterung sind an einem Traeger drei Halteelemente vorhanden, mit denen das jeweilige optische Element befestigt ist. Die drei Halteelemente weisen jeweils zwei Festkoerpergelenke auf, wobei eines der Festkoerpergelenke eine Bewegung in einem Freiheitsgrad und das jeweils andere Festkoerpergelenk auch Bewegungen in weiteren Freiheitsgraden ermoeglichen. Die Halteelemente sind stoffschluessig an einer Flaeche mit dem optischen Element verbunden. Bei der Erfindung koennen auch weitere optische Elemente an einer solchen Halterung befestigt werden.

WO2005111687 A UPAB: 20060124 NOVELTY - The holder has three holding elements on a support by which an optical element is fixed. The three holding elements each have two solid joints, one of the solid joints allowing movement in one degree of freedom and the other solid joint also allowing movements in further degrees of freedom. The holding elements are bonded on one surface to the optical element. Further optical elements can also be fixed to such a holder. DETAILED DESCRIPTION - An INDEPENDENT CLAIM is included for a method for producing an optical system with such a holder USE - For optical elements. For optical elements used for electromagnetic radiation with very small wavelengths ADVANTAGE - Enables long-lasting adjusting accuracy with correspondingly fixed optical elements.