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Fraunhofer-Gesellschaft
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Patent
Title

Spiegel und Verfahren zu dessen Erneuerung

Abstract
Es wird ein Spiegel (10) beschrieben, umfassend ein Substrat (1), eine Silberschicht (2) und eine auf der Silberschicht (3) angeordnete Haftschicht (3), wobei die Haftschicht (3) ein Aluminiumoxid aufweist. Weiterhin umfasst der Spiegel einen auf der Haftschicht (3) angeordneten Schichtstapel (4), der mindestens eine erste Aluminiumoxynitridschicht (41, 43) und mindestens eine zweite Aluminiumoxynitridschicht (42) aufweist, wobei die erste Aluminiumoxynitridschicht (41, 43) einen Brechungsindex n1aufweist die zweite Aluminiumoxynitridschicht (42) einen Brechungsindex n2< n1aufweist. Es wird weiterhin ein Verfahren zur Erneuerung des Spiegels (10) angegeben.
Inventor(s)
Schwinde, Stefan  
Leitel, Robert  
Schröder, Sven  
Link to Espacenet
https://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?DB=worldwide.espacenet.com&FT=D&CC=DE&NR=102020101041A1
Patent Number
102020101041
Publication Date
2021
Language
German
Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF  
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