Mikromechanischer Strahlungsdetektor, mikromechanisches Spektrometer und Verfahren zur Strahlungsmessung

Die Erfindung betrifft einen mikromechanischen Strahlungsdetektor, ein Detektorarray mit mikromechanischen Strahlungsdetektoren und ein Verfahren zur Strahlungsdetektion. Der Strahlungsdetektor weist ein Fabry-Perot-Interferometerelement (1) mit einem optischen Resonanzraum (4) und mindestens einem Aktuator (2) sowie ein pyroelektrisches Sensorelement (3) auf. Der mindestens eine Aktuator (2) weist eine erste Elektrodenschicht (E1), eine aktive Schicht (9) und eine zweite Elektrodenschicht (E2) auf, die ausgebildet und angeordnet sind, den Aktuator (2) bei Anlegen einer elektrischen Spannung an die aktive Schicht (9) über die erste Elektrodenschicht (E1) und die zweite Elektrodenschicht (E2) derart mechanisch zu verformen, dass ein Abstand w zwischen einer ersten Reflexionsfläche und einer zweiten Reflexionsfläche, mit denen der Resonanzraum (4) gebildet ist, definiert einstellbar und bzw. oder veränderbar ist. Das pyroelektrische Sensorelement (3) weist eine pyroelektrische Schicht (13) auf und ist ausgebildet, mittels der pyroelektrischen Schicht (13) eine Temperaturänderung zu erfassen, die durch die Absorption einer durch ein strahlungsdurchlässiges Substrat (5) in den Resonanzraum (4) transmittierten elektromagnetischen Strahlung an der zweiten Reflexionsfläche in Abhängigkeit von der Wellenlänge der elektromagnetischen Strahlung, dem Abstand w und bzw. oder einer Änderung des Abstands w bewirkt wird.