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Patent
Title
Sensoranordnung zur Messung von Druck, Kraft oder Messgroessen, die sich auf Druck oder Kraft zurueckfuehren lassen, Verfahren zur Herstellung der Sensoranordnung, Sensorelement und Verfahren zur Herstellung des Sensorelements
Inventor(s)
Faul, R.
Patent Number
1998-19810756
Publication Date
1999
Language
German