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Fraunhofer-Gesellschaft
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Options
Patent
Title

Sensoranordnung zur Messung von Druck, Kraft oder Messgroessen, die sich auf Druck oder Kraft zurueckfuehren lassen, Verfahren zur Herstellung der Sensoranordnung, Sensorelement und Verfahren zur Herstellung des Sensorelements

Inventor(s)
Faul, R.
Link to Espacenet
http://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?DB=worldwide.espacenet.com&locale=en_EP&FT=D&CC=DE&NR=19810756A
Patent Number
1998-19810756
Publication Date
1999
Language
German
Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM  
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