Vorrichtung zur Halterung einer zu heizenden Mikrostruktur und Verfahren zur Herstellung der Vorrichtung

Bei einer Vorrichtung zur Halterung einer zu heizenden Mikrostruktur (1) an einem Tragrahmen (5) ist wenigstens ein volumenstrukturierter Brueckenkoerper (13, 14) vorgesehen, der die Mikrostruktur (1) und den Tragrahmen (5) ueber brueckenartig ausgebildete Tragrahmenabschnitte (15 bis 18), Traegerplattenabschnitte (19, 20) und Verbindungsabschnitte (21, 22) unter Ausbildung von Isolierausnehmungen (23 bis 26) miteinander verbindet. Auf diese Weise ist bei einer verhaeltnismaessig hohen mechanischen Stabilitaet eine gute thermische Isolierung der Mikrostruktur (1) von dem Tragrahmen (5) erzielt. Die Vorrichtung wird durch Verbindung einer Substratplatte mit einer volumenstrukturierten Deckplatte sowie anschliessender Abtrennung von einzelnen Einheiten hergestellt.

DE 19944410 A UPAB: 20010620 NOVELTY - The device has a bearer plate (1) on which the microstructure is mounted and that is enclosed by a bearer frame (5) at a distance and a connecting arrangement connecting the plate and frame with at least one bridge body (13,14) with bearer frame, bearer plate and intermediate insulation holder connecting sections. The bridge body material has lower thermal conductivity than the bearer plate and bearer frame. DETAILED DESCRIPTION - INDEPENDENT CLAIMS are also included for the following: a method of manufacturing a device for holding a microstructure to be heated. USE - For holding a microstructure to be heated. ADVANTAGE - A relatively high level of mechanical stability is achieved with a relatively low heat flow between the bearer plate and bearer frame and the device is relatively simple to manufacture.