Spannungskontrollierbarer Kondensator mit ferroelektrischer Schicht und Verfahren zum Herstellen des spannungskontrollierbaren Kondensators mit ferroelektrischer Schicht

Die vorliegende Erfindung betrifft einen spannungskontrollierbaren Kondensator mit einer auf einem Substrat (6) aufgebrachten ersten Elektrodenschicht (4) aus einem nicht-ferroelektrischen Werkstoff, einer ferroelektrischen Zwischenschicht (3), die eine Dicke aufweist, die kleiner ist als die Dicke der ersten Elektrodenschicht (4), und einer zweiten Elektrodenschicht (2) aus einem nicht-ferroelektrischen Werkstoff. Die ferroelektrische Zwischenschicht (3) ist zwischen der ersten Elektrodenschicht (4) und der zweiten Elektrodenschicht (2) angeordnet.

The present invention relates to a voltage-controllable capacitor comprising a first electrode layer (4) composed of a non-ferroelectric material, said first electrode layer being applied on a substrate (6), a ferroelectric interlayer (3) having a thickness that is less than the thickness of the first electrode layer (4), and a second electrode layer (2) composed of a non-ferroelectric material. The ferroelectric interlayer (3) is arranged between the first electrode layer (4) and the second electrode layer (2).