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Patent
Title
Palladiumhaltiges Precursormaterial und Verfahren zur Herstellung von metallischen Mikrostrukturen auf dielektrischen Substraten mit einem palladiumhaltigen Precursormaterial
Inventor(s)
Toepper, M.
Stolle, T.
Krabe, D.
Chmiel, G.
Schammler, G.
Reichl, H.
Patent Number
1995-19507813
Publication Date
2001
Language
German