Patent
Title

Mikromechanische Vorrichtung mit einem aktiv biegbaren Element

Other Title
Micromechanical device with an actively deflectable element
Abstract
Es werden mikromechanische Vorrichtungen beschrieben, die ein aktiv biegbares Element aufweisen. Die Aktivierung wird durch einen Schichtstapel vorgenommen, der die Biegung ansprechend darauf, dass Anziehungskräfte auf die Schichten des Schichtstapels einwirken, bewirkt.
Inventor(s)
Gaudet, Matthieu
Schimmanz, Klaus
Stolz, Michael  
Langa, Sergiu  
Kaiser, Bert  
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Patent Number
102015206774
Publication Date
2016
Language
German