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Fraunhofer-Gesellschaft
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Patent
Title

Verfahren zum bestimmen eines Wertes einer Oberflächenspannung eines Materials

Abstract
Beschrieben wird ein Verfahren zum Bestimmen eines Wertes einer Oberflächenspannung eines Materials, umfassend die Schritte:Formen einer Ausgangsform (205a) eines Körpers (205) undBeeinflussen einer Temperatur des Körpers (205) derart, dass der Körper (205) sich ausgehend von der Ausgangsform (205a) unter dem Einfluss der Oberflächenspannung eines den Körper (205) bildenden Materials verformt, sowieMessen wenigstens eines Messwertes wenigstens einer von der Verformung des Körpers (205) abhängigen geometrischen Kenngröße des verformten Körpers (205b);für einen aus dem Material gebildeten fiktiven Körper (205'), der sich ausgehend von der gleichen Ausgangsform unter dem Einfluss der Oberflächenspannung verformt, und für verschiedene fiktive Werte der Oberflächenspannung des Materials jeweils Berechnen wenigstens eines Rechenwertes der wenigstens einen geometrischen Kenngröße des verformten fiktiven Körpers (205b');undBestimmen eines Wertes der Oberflächenspannung des Materials basierend auf den Rechenwerten der wenigstens einen geometrischen Kenngröße des verformten fiktiven Körpers (205b') und basierend auf dem wenigstens einen Messwert der wenigstens einen geometrischen Kenngröße des verformten Körpers (205b).
Inventor(s)
Kähler, Dirk  
Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie ISIT  
Zhang, Yimei
Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie ISIT  
Link to Espacenet
https://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?DB=EPODOC&II=0&ND=3&adjacent=true&locale=de_EP&FT=D&date=20220512&CC=DE&NR=102020129878A1&KC=A1
Patent Number
DE102020129878 A1
Publication Date
May 12, 2022
Language
German
Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie ISIT  
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