Verfahren zur Plasmabehandlung in Hohlkoerpern

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Plasmabehandlung in Hohlkoerpern, insbesondere zur plasmachemischen Modifizierung von im Inneren von Hohlkoerpern befindlichen Oberflaechen. Bei dem Verfahren wird ein flexibler Hohlkoerper bereitgestellt, der vor dem Verschliessen unter Volumenkontraktion auf einen bestimmten Druck evakuiert wird. Dieser Druck wird so gewaehlt, dass der Hohlkoerper unter reduziertem Aussendruck in einer Plasmaprozesskammer eine Volumenexpansion erfaehrt, bei der der Druck im Hohlkoerper einen Wert erreicht, der bei Anlegen eines aeusseren elektrischen Feldes eine Gasentladung im Hohlkoerper zulaesst. Der auf diese Weise evakuiert und verschlossene Hohlkoerper wird in eine Vakuumkammer gebracht, die derart evakuiert wird, dass sich im Hohlkoerper die Voraussetzungen fuer das Zuenden einer Gasentladung einstellen. Schliesslich wird die Gasentladung innerhalb des Hohlkoerpers durch Anlegen eines elektrischen Feldes gezuendet. Mit dem erfindungsgemaessen Verfahren laesst sich auf einfache und vorteilhafte Weise die Plasmabehandlung im Inneren von Hohlkoerpern erreichen, ohne dass zusaetzliche Modifikationen an bestehenden Plasmaanlagen erforderlich waeren.

DE 19814865 A UPAB: 19991122 NOVELTY - A flexible hollow body is provided with an opening and the interior is evacuated by volume contraction to a pressure level so that, when the evacuated and closed hollow body is within an environment at another pressure level, there is a volume expansion. The hollow body is hermetically sealed by maintaining the first pressure level, and it is placed in a vacuum chamber. DETAILED DESCRIPTION - The hollow body is evacuated to a pressure level which permits the ignition of a non-thermal gas discharge, through an external electrical field. The second pressure level is set so that the electrical field in the vacuum chamber also sparks a gas discharge outside the hollow body, or there is no discharge outside the body. The hollow body is flushed with a process gas before or during evacuation. A solid or liquid substance is inserted into the hollow body, before evacuation, to form the process gas. A second process gas is fed into the vacuum chamber, matching the first gas or in a different composition. Before the hollow body is sealed, an object is inserted to be given a plasma processing, where the hollow body is an individual reaction chamber and the object can be removed easily after the plasma action. The hollow body is sealed by welding. In the plasma condition, a sterilizing action is applied to the surfaces, and a layer is deposited to restrict diffusion, the surfaces have an increased cross linking and their bio-compatibility is increased. USE - The process can be for the sterilizing of products, or the hollow body can be packaging materials of polymer film. ADVANTAGE - The technique gives a simple and effective plasma action within hollow bodies, without modification to existing plasma apparatus.