Vorrichtung und Verfahren zur Lichtintensitaetsmodulation

Beschrieben wird eine Vorrichtung sowie ein Verfahren zur Lichtintensitaetsmodulation in Art eines Choppers mit einem Flaechenelement, das eine reflektierende Oberflaeche aufweist, an der auf die Oberflaeche des Flaechenelementes gerichteter Lichtstrahl reflektierbar ist, und das ueber wenigstens einen Verbindungsbereich derart mit einem Basiselement verbunden ist, dass das Flaechenelement relativ zu dem Basiselement kippbeweglich ist, sowie mit einem Aktuator, durch den das Flaechenelement gezielt aus einer Normallage wiederholt auslenkbar ist. Die Erfindung zeichnet sich dadurch aus, dass wenigstens Teilbereiche des Flaechenelements magnetisch sind, und dass der Aktuator elektromagnetische Wechselfelder generiert und derart zum Flaechenelement angeordnet ist, dass das Flaechenelement vermittels der durch das elektromagnetische Wechselfeld induzierten Kraefte gezielt relativ zum Basiselement auslenkbar ist.

WO 200052514 A UPAB: 20001223 NOVELTY - The modulator includes a surface element (1) with a reflective surface (3), and a base element (2) which is formed in one piece with the surface element. The surface element can be pivoted w.r.t the base element. The surface element and the base element have dimensions in the range between micrometers and millimeters. The elements are formed from semiconductor material, and at least a region of the surface element is covered with a layer of ferromagnetic material. An actuator (5) generates alternating magnetic fields which cause the surface element to pivot relative to the base element due to the induced forces. DETAILED DESCRIPTION - An INDEPENDENT CLAIM is included for a method of manufacturing the surface element. USE - For use in connection with a lock-in amplifier to increase the signal-to-noise ratio of a measuring apparatus. ADVANTAGE - High frequency stability and long lifetime. Can be used in medical equipment, where high voltages are to be avoided.