Verfahren und Vorrichtung zur Untersuchung von Membranoberflaechen

Strukturen auf Membranoberflaechen werden ueblicherweise mit Auger-Elektronen-Spektroskopie, die sich durch ein hohes Aufloesungsvermoegen auszeichnet, untersucht. Bei dieser Methode wird die zu untersuchende Struktur hohen Belastungen ausgesetzt. Erfindungsgemaess wird eine kommerzielle Auger-Apparatur so weiterentwickelt, dass sie sich zur Durchfuehrung einer hochaufloesenden Roentgenstrahl-Photoelektronen-Spektroskopie eignet. Dadurch wird bei hohem Aufloesungsvermoegen eine geringe Materialbelastung erreicht. Der Primaerelektronenstrahl einer Auger-Sonde trifft auf die Rueckseite der Membrane und induziert eine Roentgenstrahlung. Diese Roentgenstrahlung loest aus der Membranoberflaeche Photoelektronen aus, die zur Analyse der Oberflaeche herangezogen werden. Mit Hilfe eines Probenhalters, der als Faraday-Kaefig ausgebildet ist, werden die aus der Rueckseite der Membran austretenden Elektronen zurueckgehalten. Das Verfahren eignet sich zur Untersuchung feinster Strukturen (my- und s ub-my-Bereich).