Begrenzungselement für ein Prozessbecken

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Begrenzungselement für ein Prozessbecken. Das Prozessbecken ist zur Aufnahme einer chemischen Prozesslösung geeignet. Das Begrenzungselement ist mit mindestens einem Schlitz zum Durchführen von Wafern durch das Begrenzungselement versehen. Die Innenwandung des Schlitzes ist derartig strukturiert, dass aus dem Prozessbecken ausfließende Prozesslösung eine derartige Impulsänderung erfährt, dass der ausfließende Volumenstrom gemindert wird. Durch das Begrenzungselement der Erfindung kann der Ausfluss von Prozesslösung aus dem Prozessbecken vermindert werden. Dadurch, dass weniger Prozesslösung aus dem Prozessbecken austritt, können Prozesskosten gespart werden, da entweder weniger Prozesslösung benötigt wird oder weniger Prozesslösung zirkuliert werden muss. Die Erfindung kann unter anderem bei der Herstellung von Solarzellen oder auch von Leiterplatten, beispielsweise Leiterplatten für die Elektroindustrie, zum Einsatz kommen.