MEMS-Aktuator und MEMS-Aktuator-Array mit einer Mehrzahl von MEMS-Aktuatoren

Ein MEMS-Aktuator (10) umfasst ein Substrat (12), eine ersten Elektrodenstruktur (14), die bezüglich des Substrats (12) feststehend angeordnet ist, wobei die erste Elektrodenstruktur (14) eine Mehrzahl von Teilelektrodenstrukturen (14-1, ..., 14-n) aufweist, die jeweils eine Kantenstruktur (14-0) aufweisen und getrennt voneinander elektrisch ansteuerbar sind, und eine zweite Elektrodenstruktur (16) mit einer Kantenstruktur (16-0), wobei die zweite Elektrodenstruktur (16) mittels einer Federstruktur (18) auslenkbar mit dem Substrat (12) gekoppelt ist und mittels der ersten Elektrodenstruktur (14) elektrostatisch auslenkbar ist, um die Kantenstruktur (16-0) der zweiten Elektrodenstruktur (16) in eine diskrete Auslenkposition (z) zu bewegen, wobei die Kantenstrukturen (14-0, 16-0) der ersten und zweiten Elektrodenstruktur (14, 16) hinsichtlich einer Draufsicht gegenüberstehend ausgebildet und die gegenüberstehenden Abschnitte mit einem lateralen Abstand (x0) voneinander beabstandet sind, und wobei die einzelnen Teilelektrodenstrukturen (14-1, ..., 14-n) der ersten Elektrodenstruktur (14) ausgebildet sind, um basierend auf einer elektrischen Ansteuerspannung (Vs) eine unterschiedliche, gleichgerichtete elektrostatische Kraft auf die zweite Elektrodenstruktur (16) auszuüben und die zweite Elektrodenstruktur (16) in die diskrete Auslenkposition (z) auszulenken.