Title

Mikromechanisches Bauelement mit Temperaturstabilisierung und Verfahren zur Einstellung einer definierten Temperatur oder eines definierten Temperaturverlaufes an einem mikromechanischen Bauelement
Date Issued
2008
Author(s)
Heber, J.
Klose, T.
Sandner, T.
Bergmann, A.
Gerwig, C.
Knieling, T.
Patent No
102007015719
Abstract
(A1) Ein mikromechanisches Bauelement umfasst eine mikromechanische Funktionsstruktur und eine der mikromechanischen Funktionsstruktur zugeordnete elektromagnetische Strahlungsheizung, die ausgebildet ist, um eine zeitlich und raeumlich definierte Temperatur oder einen zeitlich und raeumlich definierten Temperaturverlauf in der mikromechanischen Funktionsstruktur zu bewirken.
Language
Deutsch
Institute
Link
Patenprio
DE 102007015719 A1: 20070402