Verfahren zur Erzeugung einer mikro-mechanischen Struktur aus zweidimensionalen Elementen und mikromechanisches Bauelement

(A1) Bei einem Verfahren zur Herstellung einer mikromechanischen Struktur wird zunaechst eine auslenkbar gelagerte zweidimensionale Struktur in einem Substrat gebildet und dann in einem Gehaeuse derart angeordnet, dass ein integrierter Mikromanipulator zwischen dem Gehaeuse und der zweidimensionalen Struktur angeordnet wird, um eine Auslenkung der zweidimensionalen Struktur aus einer Ebene des Substrats zu bewirken.