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Patent
Title
Vorrichtung zum Erzeugen beschleunigter Elektronen
Other Title
Apparatus for generating accelerated electrons
Abstract
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Erzeugen beschleunigter Elektronen, umfassend ein Gehäuse (101), welches einen evakuierbaren Raum (102a; 102b) begrenzt und ein Elektronenaustrittsfenster (104) aufweist; einen Einlass für das Zuführen eines Arbeitsgases in den evakuierbaren Raum (102); mindestens eine erste Kathode (105a, 105b) und mindestens eine erste Anode, zwischen denen mittels einer ersten angelegten elektrischen Spannung ein Glimmentladungsplasma (106) im evakuierbaren Raum (102a) erzeugbar ist, wobei Ionen aus dem Glimmentladungsplasma (106) auf die Oberfläche (110) einer zweiten Kathode (107) beschleunigbar sind und von der zweiten Kathode (107) emittierte Elektronen mittels einer zwischen der zweiten Kathode (107) und einer zweiten Anode (108) angelegten zweiten elektrischen Spannung in Richtung Elektronenaustrittsfenster (104) beschleunigbar sind, wobei das Gehäuse (101), die zweite Kathode (107) und das Elektronenaustrittsfenster (104) als Ringsegment ausgebildet sind und wobei die Oberflächensenkrechten des Elektronenaustrittsfensters (104) und des Oberflächenbereichs (110) der zweiten Kathode (107), aus dem Elektronen emittiert werden, zum Ringinneren des ringsegmentförmigen Gehäuses (101) ausgerichtet sind. Ferner ist der Raum (102a) mittels Wandungen (112) in Teilsegmente (113) unterteilt, wobei jedes Teilsegment (113) mindestens eine drahtförmige Elektrode (111) aufweist, die sich durch das Teilsegment (113) hindurch erstreckt und jedem Teilsegment (113) mindestens eine separate Stromversorgungseinrichtung zugeordnet ist, mittels der die Stärke des elektrischen Stromes, der durch die mindestens eine Elektrode (213) eines jeweiligen Teilsegments fließt, einstellbar ist.
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The invention relates to an apparatus for generating accelerated electrons, comprising: a housing (101), which delimits an evacuable space (102a; 102b) and has an electron exit window (104); an inlet for feeding a working gas into the evacuable space (102); at least one first cathode (105a; 105b) and at least one first anode, between which a glow discharge plasma (106) can be generated in the evacuable space (102a) by means of a first applied voltage, wherein ions from the glow discharge plasma (106) can be accelerated onto the surface (110) of a second cathode (107) and electrons emitted by the second cathode (107) can be accelerated toward the electron exit window (104) by means of a second voltage applied between the second cathode (107) and a second anode (108), wherein the housing (101), the second cathode (107), and the electron exit window (104) are designed as a ring segment, and wherein the surface perpendiculars of the electron exit window (104) and of the surface region (110) of the second cathode (107) from which the electrons are emitted are oriented towards the ring interior of the ring-segment-shaped housing (101). Furthermore, the space (102a) is divided into partial segments (113) by means of walls (112), wherein each partial segment (113) has at least one wire-shaped electrode (111), which extends through the partial segment (113), and at least one separate power supply device is associated with each partial segment (113), by means of which power supply device the strength of the electric current that flows through the at least one electrode (213) of the partial segment in question can be set.
Inventor(s)
Weidauer, André
Vicente Gabas, Ignacio Gabriel
Patent Number
102017113979
Publication Date
2018
Language
German