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Fraunhofer-Gesellschaft
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Patent
Title

Vorrichtung mit einer Feder und einem daran aufgehängten optischen Element

Other Title
Device with a spring and a suspended optical element
Abstract
Es werden Vorrichtungen mit Aktuatoren, daran angeordneten aktuatorseitigen Befestigungsbereichen, einem optischen Element mit daran angeordneten spiegelseitigen Befestigungsbereichen und Federn beschrieben, wobei ein optisches Element über zwei oder vier Federn mit Aktuatoren verbunden ist.

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Source: US2014355092A [EN] Apparatuses with actuators having actuator-side attachment areas disposed thereon, an optical element having mirror-side attachment areas disposed thereon and springs are described, wherein an optical element is connected to actuators via two or four springs.
Inventor(s)
Gu-Stoppel, Shanshan  
Kaden, Dirk  
Eisermann, Christian  
Link to:
Espacenet
Patent Number
102013210059
Publication Date
2014
Language
German
Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie ISIT  
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