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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Tiegel zur Herstellung von multikristallinem Silicium mittels gerichteter Erstarrung, Verfahren zu dessen Herstellung und dessen Verwendung, sowie Verfahren zur Herstellung von multikristallinem Silicium mittels gerichteter Erstarrung
 
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Patent
Title

Tiegel zur Herstellung von multikristallinem Silicium mittels gerichteter Erstarrung, Verfahren zu dessen Herstellung und dessen Verwendung, sowie Verfahren zur Herstellung von multikristallinem Silicium mittels gerichteter Erstarrung

Abstract
Die vorliegende Erfindung betrifft einen Tiegel zur Herstellung von multikristallinem Silicium mittels gerichteter Erstarrung. Die Innenfläche des Bodens des Tiegels weist eine SiNenthaltende Beschichtung auf, in welche azotierte Silicium-Partikel eingebracht sind, wobei die azotierten Silicium-Partikel aus der SiNenthaltenden Beschichtung zumindest teilweise herausragen. Zudem betrifft die vorliegende Erfindung auch ein Verfahren zur Herstellung sowie die Verwendung des Tiegels. Im Weiteren betrifft die vorliegende Erfindung die Verwendung von azotierten Silicium-Partikeln zur Herstellung von multikristallinem Silicium mittels gerichteter Erstarrung in einem Tiegel sowie ein Verfahren zur Herstellung von multikristallinem Silicium mittels gerichteter Erstarrung.
Inventor(s)
Schwanke, Stanislaus  
Reimann, Christian  
Kuczynski, Maciej
Sans, Jürgen
Hoislbauer, Christoph
Friedrich, Jochen  
Schroll, Georg
Link to Espacenet
https://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?DB=worldwide.espacenet.com&FT=D&CC=DE&NR=102018206982A1
Patent Number
102018206982
Publication Date
2019
Language
German
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
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