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Fraunhofer-Gesellschaft
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Options
Patent
Title

Bauelement mit verbesserter ferroelektrischer Polarisationsumschaltung und Zuverlässigkeit sowie Verfahren zum Herstellen dieses Bauelements

Abstract
Das Bauelement umfasst eine auf einem Substrat (1a) ausgebildete ferroelektrische oder antiferroelektrische Schicht (2), wobei die ferroelektrische oder antiferroelektrische Schicht (2) mit einem ersten Dotierstoff (3) und mindestens einem zweiten Dotierstoff (4) dotiert ist. Hierbei kann die ferroelektrische oder antiferroelektrische Schicht (2) aus HfO2oder ZrO2ausgebildet sein und mit dem ersten Dotierstoff (3) Hf oder Zr und mit dem zweiten Dotierstoff (4) Al, Si, La, Y, Gd oder Sr dotiert sein.
Inventor(s)
Lehninger, David
Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS  
Lederer, Maximilian
Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS  
Sünbül, Ayse
Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS  
Seidel, Konrad  
Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS  
Link to Espacenet
https://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?DB=EPODOC&II=0&ND=3&adjacent=true&locale=de_EP&FT=D&date=20240502&CC=DE&NR=102022211354A1&KC=A1
Patent Number
DE102022211354 A1
Publication Date
May 2, 2024
Language
German
Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS  
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