MEMS-Schallwandler

Ausführungsbeispiele der vorliegende Offenbarung beschreiben einen MEMS-Schallwandler mit einem Aktor und einer den Aktor umgebenden Struktur, wobei der Aktor durch einen oder mehrere Spalte von der umgebenden Struktur getrennt ist. Ferner umfasst der Schallwandler zumindest eine erste Blende, die entlang zumindest eines der ein oder mehreren Spalte auf dem Aktor angeordnet ist; und zumindest eine zweite Blende, die entlang des Spalts der ein oder mehreren Spalte auf der umgebenden Struktur angeordnet ist.

Embodiments of the present disclosure describe an MEMS sound transducer having an actuator and a structure surrounding the actuator, wherein the actuator is separated from the surrounding structure by one or several slits. Furthermore, the sound transducer includes at least one first diaphragm arranged on the actuator along at least one of the one or several slits; and at least one second diaphragm arranged on the surrounding structure along the slit of the one or several slits.