Vorrichtung und Verfahren zum Herstellen einer Vorrichtung mit einer Kennzeichnung zur Identifizierung der Vorrichtung

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung mit einer Kennzeichnung zur Identifizierung der Vorrichtung (3) und ein Verfahren zur Herstellung der Vorrichtung. Hierbei ist die Kennzeichnung zur Identifizierung (3) entweder als eine Kavität oder mehrere Kavitäten eingebracht oder als metallische Struktur aufgebracht, wobei die Kennzeichnung zur Identifizierung der Vorrichtung (3) entweder in einem Halbleitersubstrat (1) oder in einer zweiten Überdeckung (4) ausgebildet ist. Weiterhin ist die Kennzeichnung zur Identifizierung der Vorrichtung (3) von einer ersten Überdeckung (2) oder von einer zweiten Überdeckung (4) überdeckt. Die Ausbildung der Kennzeichnung zur Identifizierung der Vorrichtung (3) als eine Kavität oder mehrere Kavitäten wird durch physikalische oder chemische Nass- oder Trockenätzverfahren oder Laserbearbeitungsverfahren hergestellt. Im Falle der Ausbildung der Kennzeichnung zur Identifizierung der Vorrichtung (3) als metallische Struktur werden physikalische oder chemische Beschichtungsverfahren eigesetzt. In beiden Fällen kann die Kennzeichnung zur Identifizierung der Vorrichtung (3) ausschließlich mit Messmethoden identifiziert werden, die keine elektromagnetische Strahlung im sichtbaren Wellenlängenbereich verwenden.