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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Mikrostrukturiertes Transmissionsgitter für Röntgenstrahlung und entsprechendes hHrstellungsverfahren
 
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Patent
Title

Mikrostrukturiertes Transmissionsgitter für Röntgenstrahlung und entsprechendes hHrstellungsverfahren

Other Title
Microstructured transmission grating for x-ray radiation and corresponding production method
Abstract
Ausführungsbeispiele gemäß der vorliegenden Erfindung umfassen ein Verfahren zur Herstellung eines mikrostrukturierten Transmissionsgitters für Röntgenstrahlung, wobei das Verfahren die folgenden Schritte aufweist: Bereitstellen eines Substrats und Erzeugen einer Gitterstruktur mittels Strukturieren einer Vielzahl periodisch angeordneter Kavitäten in einer ersten Hauptseite des Substrats, wobei zwischen den Kavitäten jeweils einzelne Stege aus Substratmaterial bestehen bleiben, und Verfüllen der Kavitäten mit einer Vielzahl von Partikeln in Form von losem, trockenem Pulver. Dabei weist das Substrat eine geringere Absorption für Röntgenstrahlung auf als die Partikel.
Inventor(s)
Behrmann, Ole  
Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie ISIT  
Lisec, Thomas  
Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie ISIT  
Bodduluri, Mani Teja
Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie ISIT  
Gojdka, Björn
Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie ISIT  
Link to Espacenet
https://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?DB=EPODOC&II=0&ND=3&adjacent=true&locale=de_EP&FT=D&date=20241219&CC=DE&NR=102023205555A1&KC=A1
Patent Number
DE102023205555 A1
Publication Date
December 19, 2024
Language
German
Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie ISIT  
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