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Title
Zweistrahl-Interferometer
Date Issued
1990
Author(s)
Koerner, K.
Ludovit, N.
Puder, J.
Stadthaus, W.
Dolkeit, T.
Patent No
1989-327676
Abstract
Die Erfindung betrifft ein Zweistrahl-Interferometer zur Messung der Gestalt insbesondere ultrapraezisionsbearbeiteter Oberflaechen, nach dem Interferenzprinzip. Erfindungsgemaess begrenzen am Ausgang eines Interferometers mit einer zur Referenzstrahlenbuendelachse geneigten Prueflingsstrahlenbuendelachse zwei teilverspiegelte Flaechen einen Raum, die im Winkelbereich < 1 Grad keilfoermig zueinander angeordnet sind, wobei der Neigungswinkel der Buendelachsen und der Winkel zwischen den beiden teilverspiegelten Flaechen, die die Aussenflaechen eines quer verschiebbaren Glaskeiles bilden koennen, so aufeinander abgestimmt sind, dass zwischen der zweiten teilverspiegelten Flaeche und einem Objektiv durch eine Zickzack-Reflexion zwischen den beiden teilverspiegelten Flaechen und durch eine Transmission dieser von jeweils einem Teilstrahlenbuendel, Teilstrahlenbuendel-Paare bestehen, die genau aus je einem Teilreferenz-Strahlenbuendel und einem Teilprueflings-Strahlenbuendel gebildet sind.D urch Verschiebung des Glaskeiles wird es moeglich, die Phase im Interferogramm definiert zu verstellen. Durch eine geeignete Teilverspiegelung des Glaskeiles wird ein hoher Kontrast im Interferogramm erreicht.
DE 4012503 A UPAB: 19930928 The two-beam interferometer contains test object and partially reflecting reference surfaces and a monochromatic light source. Input, reference (R) and test (P) beams are used. The test beam is inclined w.r.t. the reference beam. Two partially mirrored surfaces (8,9) at an angle less than 1 Grad bound an output vol. Partial beam pairs are set up between the second partially mirrored surface and a lens (10). The width of an aperture (11) at the lens focal plane corresp. to the separation of the beam pair foci. USE/ADVANTAGE - For measuring surfaces machined with ultra precision. Improved measurement accuracy. 1/4
Language
de
Patenprio
DD 1989-327676 A: 19890417