Integrierte thermoelektrische Struktur, Verfahren zur Herstellung einer integrierten thermoelektrischen Struktur, Verfahren zum Betrieb derselben als Detektor, thermoelektrischer Generator und thermoelektrisches Peltier-Element

Eine integrierte vertikale Struktur für Infrarot-Sensorik, Peltier-Kühlung und thermoelektrische Generatoranwendung bestehend aus einer thermisch isolierten Schicht, die durch mindestens zwei Abstandshalter in Abstand zu einem Substrat gehalten wird. Die Abstandshalter weisen darüber hinaus Leiterstrukturen auf, die als thermoelektrische Elemente dienen. Ein Verfahren verwirklicht die Herstellung der integrierten thermoelektrischen Struktur, ein Verfahren verwirklicht den Betrieb der integrierten thermoelektrischen Struktur als Detektor, ein weiteres Verfahren verwirklich den Betrieb der integrierten thermoelektrischen Struktur als thermoelektrischer Generator und ein Verfahren verwirklicht den Betrieb der integrierten thermoelektrischen Struktur als thermoelektrisches Peltier-Element.

A method realizes manufacturing the integrated thermoelectric structure, a method realizes the operation of the integrated thermoelectric structure as a detector, a further method realizes the operation of the integrated thermoelectric structure as a thermoelectric generator, and a method realizes the operation of the integrated thermoelectric structure as a thermoelectric Peltier element.