Vorrichtung mit einem schwingfähig aufgehängten optischen Element und Verfahren zum Auslenken desselben

Die zugrunde liegende Erfindung legt eine Vorrichtung dar, die ein schwingfähig aufgehängtes optischen Element mit mindestens einem Aktuator enthält, der ausgebildet ist, um eine an dem schwingfähig aufgehängten optischen Element vorbeiströmende Fluidströmung zu beeinflussen, sodass das schwingfähig aufgehängte optische Element in Schwingung versetzt wird und die Energie für diese Schwingung dem Fluid entnommen wird. Gleichzeitig wird das Fluid als Kühlmittel verwendet, sodass die dargelegte Vorrichtung aufgrund der abtransportierten Wärmemenge in der Lage ist, grössere Lichtleistungen zu handhaben.

WO14170155A1 [EN] The underlying invention presents a device containing an optical element, suspended such that it can vibrate, comprising at least one actuator embodied to influence a fluid flow flowing past the optical element suspended such that it can vibrate such that the optical element suspended such that it can vibrate is made to vibrate and the energy for this vibration is taken from the fluid. At the same time, the fluid is used as a coolant such that the presented device is able to handle greater radiant fluxes due to the dissipated amount of heat.