Vorrichtung und Verfahren zum Analysieren eines auf ein Substrat auftreffenden Lichtstrahls und zum Korrigieren einer Brennweitenverschiebung

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Analysieren eines auf ein Substrat (8) auftreffenden Lichtstrahls mit einer Lichtquelle (1), einer ersten Linse (3) und einer zweiten Linse (4), wobei die erste Linse (3) und die zweite Linse (4) zwischen der Lichtquelle (1) und dem Substrat (8) angeordnet sind. Die Vorrichtung umfasst ausserdem einen zwischen der zweiten Linse (4) und dem Substrat (8) angeordnetes Schutzglas (5), einen Sensor (15) und ein zwischen der ersten Linse (3) und der zweiten Linse (4) angeordnetes optisches Element (6, 7).; Die Vorrichtung weist ferner eine Blende (12) auf und das optische Element (6, 7) ist dazu eingerichtet, Strahlen, die auf einer dem Schutzglas (5) zugewandte Oberfläche des optischen Elements (6, 7) auftreffen, derart in einem ersten Sensorstrahlengang abzulenken, das nur ein von dem Schutzglas (5) reflektierter Anteil des Messstrahls durch die Blende (12) zu dem Sensor (15) gelangt und von anderen Teilen der Vorrichtung reflektierte Störstrahlen durch die Blende (12) abgeschattet werden.