Verfahren und Vorrichtung zur Energieerzeugung aus wasserstoffreichem Industrie-Abgas

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren sowie eine Einrichtung zur Energieerzeugung aus wasserstoffreichem Industrie-Abgas, insbesondere aus Anlagen der Halbleiterfertigung und/oder Halbleiterprozessierung. Bei dem Verfahren wird das Abgas durch eine Stromerzeugungs-Einrichtung mit wenigstens einem Kompressor (2) und einer oder mehreren Brennstoffzellen (3) geleitet. In der Stromerzeugungs-Einrichtung wird das Abgas komprimiert und aus wenigstens einem Teil des darin enthaltenen Wasserstoffs Strom erzeugt. Der Kompressor (2) ist dabei mit dem Ausgang der AbgasAnlage verbunden, wobei der Eingangsdruck des Kompressors (2) auf einen Sollwert geregelt wird. Mit dem Verfahren und der zugehörigen Einrichtung lässt sich der im wasserstoffhaltigen Industrie-Abgas enthaltene Energiegehalt des Wasserstoffs wenigstens zum Teil in elektrische Nutzenergie wandeln. Das Verfahren und die Einrichtung lassen sich dabei insbesondere für die Rückverstromung des Industrie-Abgases von Anlagen der Halbleiterfertigung und/oder - prozessierung ohne Rückwirkung auf diese Prozesse einsetzen.