Mikro-Duesen-System

Beschrieben wird ein Mikro-Duesen-System mit wenigstens einem, eine Duesenoeffnung, die einen Duesenoeffnungsquerschnitt im Mikrometerbereich aufweist und durch die ein gasfoermiger oder fluessiger Stoffstrom ein- oder ausbringbar ist, umschliessenden Duesenkoerper. Die Erfindung zeichnet sich dadurch aus, da der Duesenkoerper ein Volumen umschliesst, in das wenigstens ein Ende eines Hohlkanals muendet, und dass ein anderes Ende des Hohlkanals mit einem Anschlussbereich verbunden ist, an dem eine Druckquelle zum Transport des Stoffstromes durch den Hohlkanal anschliessbar ist.

WO 200151208 A UPAB: 20011005 NOVELTY - Micronozzle system comprises a hollow cavity (3) with an opening (4) in the micrometer range through which a gas or liquid can be introduced. The cavity is connected to a channel (1) which can be connected to a vacuum or pressure source to fill or empty it. DETAILED DESCRIPTION - An INDEPENDENT CLAIM is included for a method for making the system comprising: (a) etching the underside of a semiconductor substrate to form pyramidal recesses, the whole underside then being coated with an etch-resistant layer; (b) etching the other side of the substrate to expose the points of the pyramids; (c) eroding the tip using reactive ion etching to form the opening; (d) forming an open groove in a glass substrate; and (e) fixing the substrate to the coated underside of the semiconductor substrate so that a sealed channel is formed which opens into the cavity. USE - For manipulation of biological cells in suspension. ADVANTAGE - A large array of micronozzle devices can easily be produced.