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Fraunhofer-Gesellschaft
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Patent
Title

Ringförmige Vorrichtung zum Erzeugen von beschleunigten Elektronen

Abstract
Die Erfindung betrifft eine ringförmige Vorrichtung zum Erzeugen beschleunigter Elektronen, umfassend ein ringförmiges Gehäuse (101), welches einen ringförmigen evakuierbaren Raum (102a; 102b) begrenzt und ein ringförmiges Elektronenaustrittsfenster (104) aufweist; mindestens ein erstes Reservoir (121), welches ein Arbeitsgas enthält; mindestens einen ersten Einlass (120) für das Zuführen des Arbeitsgases aus dem ersten Reservoir (121) in den ringförmigen evakuierbaren Raum (102a; 102b); mindestens eine erste Kathode und mindestens eine erste Anode, zwischen denen mittels einer ersten angelegten elektrischen Spannung ein Glimmentladungsplasma (106) im ringförmigen evakuierbaren Raum (102a) erzeugbar ist, wobei Ionen aus dem Glimmentladungsplasma (106) auf die Oberfläche (110) einer ringförmigen zweiten Kathode (107) beschleunigbar sind und von der ringförmigen zweiten Kathode (107) emittierte Elektronen mittels einer, zwischen der ringförmigen zweiten Kathode (107) und einer ringförmigen zweiten Anode (108) angelegten, zweiten elektrischen Spannung in Richtung ringförmiges Elektronenaustrittsfenster (104) beschleunigbar sind, wobei das Gehäuse (101) als erste Kathode ausgebildet ist; die erste Anode eine Anzahl von drahtförmigen Elektroden (105) umfasst, welche sich vollständig oder teilweise durch den ringförmigen evakuierbaren Raum (102a) hindurch erstrecken und wobei in einem zweiten Reservoir (122) eine kohlenwasserstoffhaltige Verbindung enthalten ist, welche durch den mindestens einen ersten Einlass (120) in den evakuierbaren Raum (102a; 102b) einlassbar ist.
Inventor(s)
Mattausch, Gösta  
Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP  
Zimmermann, Burkhard  
Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP  
Kubusch, Jörg  
Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP  
Blüthner, Ralf  
Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP  
Dincklage, Lars
Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP  
Dominok, Severin
Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP  
Flaske, Henrik  
Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP  
Lorenz, Ludwig
Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP  
Meyer, Björn  
Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP  
Top, Michiel  
Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP  
Link to Espacenet
https://worldwide-i.espacenet.com/publicationDetails/biblio?DB=EPODOC&II=0&ND=3&adjacent=true&locale=en_EP&FT=D&date=20231214&CC=DE&NR=102022114434A1&KC=A1
Patent Number
DE102022114434 A1
Publication Date
December 14, 2023
Language
German
Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP  
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