Verfahren und Vorrichtung zur Überwachung eines Laserbearbeitungsprozesses durch Speckle-Photometrie

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Überwachung eines Laserbearbeitungsprozesses, bei dem wenigstens ein Bearbeitungslaserstrahl entlang einer oder mehrerer Bahnen über eine zu bearbeitende Oberfläche geführt wird, um die Oberfläche jeweils lokal aufzuschmelzen. Bei dem Verfahren wird während des Bearbeitungsprozesses von der Oberfläche reflektierte und/oder gestreute Strahlung des Bearbeitungslaserstrahls oder eines Beleuchtungslasers (7) mit einer Hochgeschwindigkeits-Kamera (2) orts- und zeitaufgelöst erfasst und aus den Bildern mittels statischer und zeitaufgelöster Speckle-Photometrie automatisiert wenigstens die Topografie oder Rauheit der Oberfläche in einem oder mehreren interessierenden Abschnitten, die Größe des jeweiligen Schmelzbades (14) und die Porosität an oder unterhalb der Oberfläche in jeweils interessierenden Abschnitten als Zustandsgrößen bestimmt. Damit werden Zustandsgrößen der bearbeiteten Oberfläche mit hoher Ortsauflösung in Echtzeit ermittelt, die auch für eine Regelung des Bearbeitungsprozesses eingesetzt werden können.