Verfahren und Vorrichtung zur Regelung des Ionenstroms eines Ionenbeschleunigers

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Regelung des Ionenstroms eines Ionenbeschleunigers, insbesondere fuer den Einsatz bei der Ionenimplantation. Bei dem erfindungsgemaessen Verfahren wird eine dem Ionenstrom entsprechende Groesse zum Erhalt eines Istwertes erfasst und mit einem vorgebbaren Sollwert verglichen. Das Vergleichsergebnis wird zur Regelung des Ionenstroms auf den Sollwert verwendet, indem die Ionisierungsspannung zwischen einem voreingestellten Wert und einem Minimalwert, bei dem im wesentlichen keine Ionisierung mehr erfolgt, moduliert wird. Vor allem in Verbindung mit einer zusaetzlichen Regelung des Filamentstromes wird eine zweistufige, sehr schnelle und exakte Regelung des Probenstromes realisiert, mit der langsame und schnelle Stoereinfluesse gut ausgeglichen werden koennen.

DE 19846926 A UPAB: 20000624 NOVELTY - The method involves measuring a parameter corresponding. to the ion current to derive an actual value; comparing the actual value with a parameter corresponding. to the predefined demand value; and regulating the ion current to the demand value by modulating the ionization voltage between a pre-set value and a minimal value at which essentially no further ionization occurs.. DETAILED DESCRIPTION - An INDEPENDENT CLAIM is also included for an arrangement for regulating the ion current in an ion accelerator. USE - For regulating the ion current in an ion accelerator. ADVANTAGE - Enables a very good degree of homogeneity of the implantation dose on a specimen to be achieved with extra time and independently of disturbance effects.