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Patent
Title
Mechanischer Resonator, Verfahren zu dessen Herstellung und dessen Verwendung
Other Title
Mechanical resonator, method for the production thereof and use thereof
Abstract
Die vorliegende Erfindung betrifft einen mechanischen Resonator für Beschleunigungs- und Lagesensoren, der eine kompakte Bauform aufweist und gleichzeitig eine niedrige Eigenfrequenz bei hohem Gütefaktor aufweist. Ebenso betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung dieses mechanischen Resonators. Der mechanische Resonator findet beispielsweise Verwendung in Gravitationswellendetektoren, Atom-Interferometern und EUV-Lithographieanlagen. Die Position des Prüfkörpers des mechanischen Resonators kann dann später interferometrisch mit einem optischen System ausgelesen werden.
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Patent Number
EP4628903 A1
Publication Date
October 8, 2025
Language
German