Verfahren zur Erzeugung von extremer Ultraviolett und/oder weicher Röntgenstrahlung

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Erzeugung von extremer Ultraviolett- und/oder weicher Röntgenstrahlung, bei dem ein flüssiges Targetmaterial, das Gadolinium und/oder Terbium enthält, durch Bestrahlung mit energetischer Strahlung und/oder durch eine Hochstromentladung in einen Plasmazustand versetzt wird, in dem Gadolinium- und/oder Terbium-Ionen die extreme Ultraviolett- und/oder weiche Röntgenstrahlung emittieren. Das Verfahren zeichnet sich dadurch aus, dass das Gadolinium und/oder Terbium oder eine das Gadolinium und/oder Terbium enthaltende Verbindung in Form von Partikeln in einer Trägerflüssigkeit bereitgestellt werden, die als Targetmaterial zugeführt wird und das Gadolinium und/oder Terbium in einer niedrigen Konzentration von < 20 Gew.% enthält. Auf diese Weise lässt sich EUV-Strahlung im Wellenlängenbereich um 6-7 nm mit geringerem technischen Aufwand erzeugen.