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Fraunhofer-Gesellschaft
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Patent
Title

MEMS-Schallwandler

Abstract
MEMS-Schallwandler (10, 10', 10", 10"') mit folgenden Merkmalen: mindestens einem Aktor (16, 16a-16d, 16a"-16d", 16a"'-16d"'); einer Abstrahlstruktur (14, 14', 14a-14d, 14", 14"), die als separates Element mit dem Aktor (16, 16a-16d, 16a"-16d", 16a'"-16d'") gekoppelt ist und ausgebildet ist; eine die Abstrahlstruktur (14, 14', 14a-14d, 14", 14") umgebende Struktur (12), wobei die Abstrahlstruktur (14, 14', 14a-14d, 14", 14") durch einen oder mehrere Spalte (14s, 14s", 14s"') von der umgebenden Struktur (12) getrennt ist; und zumindest eine Blende (18, 18s", 18a", 18a, 18b, 18s'"), die entlang zumindest eines der einen oder mehreren Spalte (14s, 14s", 14s''') angeordnet ist.
Inventor(s)
Niekiel, Malte Florian  
Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie ISIT  
Stoppel, Fabian  
Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie ISIT  
Wagner, Bernhard
Lofink, Fabian  
Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie ISIT  
Link to Espacenet
https://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?DB=EPODOC&II=0&ND=3&adjacent=true&locale=de_EP&FT=D&date=20221006&CC=DE&NR=102021203360A1&KC=A1
Patent Number
DE102021203360 A1
Publication Date
October 6, 2022
Language
German
Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie ISIT  
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