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Patent
Title
MEMS-Schallwandler
Abstract
MEMS-Schallwandler (10, 10', 10", 10"') mit folgenden Merkmalen: mindestens einem Aktor (16, 16a-16d, 16a"-16d", 16a"'-16d"'); einer Abstrahlstruktur (14, 14', 14a-14d, 14", 14"), die als separates Element mit dem Aktor (16, 16a-16d, 16a"-16d", 16a'"-16d'") gekoppelt ist und ausgebildet ist; eine die Abstrahlstruktur (14, 14', 14a-14d, 14", 14") umgebende Struktur (12), wobei die Abstrahlstruktur (14, 14', 14a-14d, 14", 14") durch einen oder mehrere Spalte (14s, 14s", 14s"') von der umgebenden Struktur (12) getrennt ist; und zumindest eine Blende (18, 18s", 18a", 18a, 18b, 18s'"), die entlang zumindest eines der einen oder mehreren Spalte (14s, 14s", 14s''') angeordnet ist.
Patent Number
DE102021203360 A1
Publication Date
October 6, 2022
Language
German