Raeumliches Wegmesssystem

Die moderne Fertigungsmesstechnik benoetigt dringend Verfahren, die eine raeumliche Erfassung, insbesondere fuer die Abnahme von mehrachsigen Mess- und Bearbeitungsmaschinen, von Objektpositionen bzw. -Bewegungen mit Unsicherheiten unter 1 <my>m ermoeglichen. Erfindungsgemaess wird diese Aufgabenstellung dadurch geloest, dass drei Laserinterferometer derart angeordnet sind, dass die Strahlen, die die Messstrecke durchlaufen, so um je einen Punkt auf diesen Strahlen gedreht werden, dass sie die kuerzesten Verbindungslinien zwischen den als Referenzpunkte dienenden Drehpunkten und dem zu vermessenden Punkt des Prueflings, der i.a. durch die Ecke eines Tripelreflektors verkoerpert ist, darstellen. Diese Vorgehensweise verletzt nicht das Komparatorprinzip (keine Abbe-Fehler), im Gegensatz zu praktisch allen heute existierenden Maschinenmesssystemen. Erfindungsgemaess wird das Problem der praezisen Bestimmung der fuer die Umrechnung z.B. in kartesische Koordinaten erforderlichen Referenzpunktkoordinaten sowie eines Startwertes fuer den zu vermessenden beweglichen Objektpunkt durch Einsatz von (mindestens) vier Interferometersystemen geloest, ohne dass weitere Messmittel dazu erforderlich sind.

DE 3205362 A UPAB: 19930925 The spatial distance measurement system measures spatial coordinates of movable components. The position of the measurement point is determined substantially free of the Abbe errors typical of conventional measurement systems. This is achieved by measuring over the shortest connecting lines between the component and the primary measurement system reference points. The laser interferometer primary linear distance measurement system is used with measurement axes coincident with the shortest connecting lines. Four or more linear measurement systems may be used enabling automatic measurement of reference point distances and a starting position. Measurements in a plane can be performed with a corresp. reduced number of measurement systems. 1/4