Konditionierwerkzeug

Die Erfindung betrifft ein Konditionierwerkzeug zum Aufrauhen und Entfernen von Unebenheiten bzw. Formabweichungen eines Polierwerkzeuges fuer Wafer oder optische Bauteile, mit einem scheibenfoermigen Grundkoerper. Der Grundkoerper besteht auf jeder seiner Oberflaechen entweder aus einem chemisch inerten Material oder ist mit einem chemisch inerten Material beschichtet und weist zumindest auf einer Konditionieroberflaeche eine Diamantoberflaeche mit einer determinierten oder stochastischen kraftaufnehmenden Struktur auf.

DE 10206098 A UPAB: 20040205 NOVELTY - The conditioning tool has a disk-shaped base body that consists either of a chemically inert material or is coated with a chemically inert material on each of its surfaces and has a diamond surface at least on its conditioning surface with a deterministic or stochastic force absorbing structure. The diamond surface has structural elements protruding out of the base body. USE - For conditioning a polishing tool, especially for wafers or optical components (claimed). ADVANTAGE - Enables reliable conditioning of polishing pads for chemical-mechanical polishing.