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Fraunhofer-Gesellschaft
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Patent
Title

Sensor mit einer Festkörper-Schichtstruktur und Verfahren zur Herstellung eines Sensors

Abstract
Die Erfindung bezieht sich auf einen Sensor mit einer Festkörper-Schichtstruktur, der folgende Elemente aufweist: Eine erste Schicht, die ein Halbleitermaterial aufweist; eine zweite Schicht, die ein Gold-Material und ein Sauerstoff-Material aufweist; und eine zwischen der ersten und der zweiten Schicht angeordnete Isolationsschicht.
Inventor(s)
Kurth, Eberhard  
Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS  
Kunath, Christian
Link to:
Espacenet
Patent Number
DE102019216327 A1
Publication Date
April 29, 2021
Language
German
Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS  
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