Verfahren und Vorrichtung zum Zuenden eines Lichtbogens

(A1) Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Zuenden eines Lichtbogens zwischen einer Anode und in einem Abstand dazu angeordneten Kathode einer fuer eine Substratoberflaechenmodifizierung einsetzbaren Plasmaquelle bei Umgebungsatmosphaerenbedingungen. Aufgabe der Erfindung ist es, den Aufwand fuer die Zuendung eines Lichtbogens einer Plasmaquelle zu reduzieren und den Zuendprozess sicherer zu machen. Bei der Erfindung wird so vorgegangen, dass mittels zweier parallel zur Laengsachse zwischen Anode und Kathode angeordneter Elektroden, die an einen Hochspannungsgenerator angeschlosssen und bei der Zuendung mit einer hochfrequenten elektrischen Wechselspannung beaufschlagt sind, eine Barriere-Entladung mit einem zugefuehrten Gas gezuendet wird. Dadurch kann dann bei an die Anode und die Kathode angelegter elektrischer Gleichspannung mittels der durch die Barriere-Entladung zwischen Anode und Kathode vorhandenen Ladungstraeger ein Lichtbogen gezuendet werden.