Vorrichtung und Verfahren zum Zuenden einer Hohlkatodenbogenentladung

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Zuenden einer Hohlkatodenbogenentladung bei einer Plasmaerzeugungseinrichtung, umfassend eine Hohlkatode (1), eine Heizwendel (4) zum Erwaermen der Hohlkatode (1), mindestens eine Anode (3), eine Messeinrichtung (7) zum Erfassen des Anodenstromes (IA) und mindestens eine Stromversorgungseinrichtung (2) zum Bereitstellen des Heizwendelstromes (IH) und des Anodenstromes (IA), wobei mittels einer Steuereinrichtung (8) der Stromsollwert der Stromversorgungseinrichtung (2) in Abhaengigkeit vom erfassten Anodenstrom (IA) regelbar ist.

DE1004010261 A UPAB: 20051027 NOVELTY - The plasma generator system has a hollow cathode (1) that is wound with a heating filament (4) and an anode (3). Coupled to the anode is a transducer (7) that measures the anode current. Electrical power is supplied (2) and is controlled by the difference (9) between the measured current and a reference value. USE - Vacuum coating processes. ADVANTAGE - Reliable arc triggering process.