Mikromechanisches Bauelement mit verkippten Elektroden

(A1) Ein mikromechanisches Bauelement umfasst eine mikromechanische Funktionsstruktur, die um eine Hauptachse aus einer Ruhelage auslenkbar ist, eine bewegliche Elektrode, die an der mikromechanischen Funktionsstruktur befestigt ist, und eine feste Elektrode, die um eine Verkippungsachse gegenueber der beweglichen Elektrode in der Ruhelage verkippbar ist, wobei die Verkippungsachse parallel zu der Hauptachse ist oder mit der Hauptachse identisch ist.