Monolithisch ausgestalteter Spektralapparat

Die Erfindung betrifft einen Spektralapparat (10) mit einer ersten Aperturbegrenzungsvorrichtung (11), einer zweiten Aperturbegrenzungsvorrichtung (12), einem ersten Spiegel (14), einem beweglichen MEMS-Spiegel (15) und einem von dem MEMS-Spiegel (15) räumlich getrennten dispersiven Element (18), wobei der bewegliche MEMS-Spiegel (15) relativ zu dem dispersiven Element (18) beweglich ist, wobei der bewegliche MEMS-Spiegel (15) mit zumindest einem von der ersten Aperturbegrenzungsvorrichtung (11), der zweiten Aperturbegrenzungsvorrichtung (12) und dem dispersiven Element (18) monolithisch als ein gemeinsames Bauteil ausgeführt ist, und wobei die erste und die zweite Aperturbegrenzungsvorrichtung (11, 12) räumlich von dem beweglichen MEMS-Spiegel (15) getrennt angeordnet sind und einen lateralen Versatz (D, D) zu einer Drehachse (21) des beweglichen MEMS-Spiegels (15) aufweisen.