Ptychographisches Bildgebungsverfahren und -system

Die Erfindung betrifft ein Bildgebungsverfahren mit den folgenden Verfahrensschritten: Erzeugung von zumindest teilkohärenter elektromagnetischer Beleuchtungsstrahlung, Beleuchten eines Objektes mit der Beleuchtungsstrahlung, Bewegen des Objektes lateral relativ zum Verlauf der Beleuchtungsstrahlung in zwei oder mehrere Lateralpositionen, Detektieren von mehreren Intensitätsmustern, wobei jeder der Lateralpositionen ein detektiertes Intensitätsmuster zugeordnet ist, wobei die Intensitätsmuster durch Streuung oder Beugung der Beleuchtungsstrahlung an dem Objekt in einer Detektionsebene erzeugt werden, und Rekonstruieren eines Bildes des Objektes aus den detektierten Intensitätsmustern mittels eines Phasenrekonstruktionsalgorithmus. Die Erfindung schlägt vor, dass die Beleuchtungsstrahlung bei zumindest zwei verschiedenen Beleuchtungswellenlängen erzeugt wird, wobei für jede der zumindest zwei verschiedenen Beleuchtungswellenlängen mehrere Intensitätsmuster, nämlich für zwei oder mehrere Lateralpositionen detektiert werden, und wobei für jede Beleuchtungswellenlänge ein Bild des Objektes aus den für die jeweilige Beleuchtungswellenlänge detektierten Intensitätsmustern rekonstruiert wird. Der Vorteil der Erfindung ist, dass alle Bilder, die für verschiedene Beleuchtungswellenlängen generiert werden, in einer einzigen Apparatur gewonnen werden können und zueinander positionskorreliert sind. Außerdem betrifft die Erfindung ein Bildgebungssystem zur Durchführung des Verfahrens.