Verfahren zur Erzeugung einer Lochstruktur in einer Mehrzahl von zueinander festgelegten, beabstandeten Festkoerperschichten

Zur Herstellung von auf Achse liegenden Oeffnungen in einer Mehrzahl von zueinander festgelegten, beabstandeten Festkoerperschichten wird ein Bereich der Festkoerperschichten, in dem die Oeffnungen zu erzeugen sind, mittels eines Partikelstrahls mit hoher Tiefenschaerfe beaufschlagt, wobei zumindest im Auftreffbereich des Partikelstrahls ein Gas zugefuehrt wird.

DE 19853224 A UPAB: 20000811 NOVELTY - The method involves using a particle beam (11) of high depth resolution incident on a region of the solid state layers in which the hole structure is to be produced, whereby a gas is introduced (17) at least in the region of incidence of the particle beam. USE - For generating hole structure in number of mutually fixed, separate solid state layers, esp. for etching in solid state foils for producing microstructures. ADVANTAGE - Enables the central axes of the holes or hole structures of the different layers to be aligned.