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Patente
Einrichtung zum Betreiben einer Niederdruckentladung
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Patent
Title
Einrichtung zum Betreiben einer Niederdruckentladung
Inventor(s)
Goedicke, K.
Fietzke, F.
Winkler, T.
Link to Espacenet
http://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?DB=worldwide.espacenet.com&locale=en_EP&FT=D&CC=DE&NR=19757353A
Patent Number
1997-19757353
Publication Date
1999
Language
German
Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP