Mikroventil in keramischer Mehrlagentechnik sowie dessen Verwendung

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Mikroventil in keramischer Mehrlagentechnik das eine Regulierung von z. B. Gasstroemen in Abhaengigkeit der Umgebungstemperatur ermoeglicht. Das Ventil nutzt dabei eine temperaturabhaengige Deformation eines Bimetalls zur Regulierung der Stroemung. Ebenso betrifft die Erfindung eine Mikroventilanordnung mit einer Vielzahl derartiger Mikroventile. Verwendung finden die erfindungsgemaessen Mikroventile zur Regelung von Mikrobrennern Mikrogeneratoren Mikroreformern Mikroreaktoren Mikrobrennstoffzellen Kuehl- oder Heizsystemen in der Mikroverfahrenstechnik in der Mikroenergietechnik und in der Mikroanalytik.