Mikromechanische Aktorstruktur und Mikroventil

Eine mikromechanische Aktorstruktur besitzt ein Wirkelement und eine Traegerstruktur, wobei das Wirkelement durch eine Aufhaengungseinrichtung an der Traegerstruktur angebracht ist. Die Aufhaengungseinrichtung umfasst zumindest zwei Bereiche, die sich in unterschiedlichen Richtungen von dem Wirkelement weg erstrecken und jeweils mit dem Wirkelement und der Traegerstruktur verbunden sind. Auf zumindest zwei derartigen Bereichen der Aufhaengungseinrichtung ist jeweils ein separates Aktorelement angeordnet, derart, dass das Wirkelement durch Betaetigen der Aktorelemente bewegbar ist. Die Aufhaengungseinrichtung besitzt eine Koppeleinrichtung, die mit dem Wirkelement verbunden ist, wobei die Koppeleinrichtung derart ausgebildet ist, dass bei einer Betaetigung der Aktorelemente die Aufhaengungseinrichtung in ihrer Erstreckung zwischen dem Wirkelement und der Traegerstruktur verlaengerbar ist. Bei einem Mikroventil ist das Wirkelement durch einen Ventilstoessel und die Traegerstruktur durch einen Ventilgrundkoerper mit einer Durchlassoeffnung durch denselben gebildet.

EP 1008765 A UPAB: 20000807 NOVELTY - The micro-mechanical actuator has a separate actuator element (30,32) on at least two sections of the suspension system (22), to trip the valve lifter (20). The suspension system (22) has a coupling (28) bonded to the valve lifter (20) so that, when the actuators (30,32) are tripped, the suspension (22) is extended between the valve lifter (20) and the valve body carrier structure (24) by altering the angle of the suspension (22). USE - The micro-mechanical actuator is for applications such as in piezo electric micro-mechanical valves and relays. ADVANTAGE - The micro-mechanical actuator structure is stable when under a load.