Mikromechanische Einrichtung

Beschrieben wird ein mikromechanisches Stellelement, dessen bewegliches Element aus einer Bimaterialzunge besteht. Erfindungsgemaess zeichnet sich das Stellelement dadurch aus, dass die Bimaterialzunge in eine vorgebbare Lage gebracht und dort gehalten werden kann. Mit Hilfe von integrierten Sensorelementen wird die momentane Lage der Zunge erfasst. Das Messsignal wird zur Positionsregelung in einem gemeinsamen Regelkreis mit dem Strom des Heizers des Bimaterials verknuepft. In den Ausfuehrungsbeispielen werden Weiterbildungen des Stellelementes zu einem Lichtmodulator, einem elektrisch betriebenen Schalter und zu einem elektrisch gesteuerten Mikroventil beschrieben.