Verfahren und Vorrichtung zur selektiven Modifikation der Schichtmorphologie in Supraleitern

Verfahren zur lokalen Phasenumwandlung und Strukturierung von Dünnschichten aus supraleitenden Materialien, umfassend die Schritte:Abscheidung einer Dünnschicht (1) aus einem supraleitenden Material in einer keramischen oder isolierenden Phase auf einem Trägersubstrat (2) in einer Abscheideanlage (3),lokaler Wärmeeintrag in die Dünnschicht (1), wobei Bereiche der Dünnschicht (1) erwärmt werden und eine Phasenumwandlung in eine supraleitende Phase (8) erfahren, sodass Bereiche der supraleitenden Phase (8) in der isolierenden Phase eingebettete Strukturen bilden.